|
|
Регуляторы расхода газа GFC для микрорасходов аналоговые (шкалы по азоту от 10 sccm до 1000 slpm) с копусом из алюминия или нержавеющей стали (самый выгодный по цене регулятор расхода)
Особенности дизайна
* ± 1% Погрешность от полной шкалы стандартная
* Жёсткая металлическая конструкция
* Доступные диапазоны расхода от 0 до 10 sccm (стандартные сантиметры кубические в минуту) до 0-1000 SLPM (стандартные литры в минуту).
* Максимальное давление 70 бар
* Герметичность по гелию 1 x 10^-9 sccm
* Cертификация NIST
* Встроенный поворотный ЖК-дисплей (некоторые модели)
* Локальное или дистанционное управление уставками
* 0-5 В пост. тока и 4-20 мА - входные и выходные сигналы
* Защита электрических цепей
* Опция ЖКИ сумматора
Модели регуляторов расхода GFC тепловых масс предназначены для индикации и управления заданными скоростями потока газов.
Регуляторы GFC объединяют характеристики и точность обычных устройств массового расхода в уникальную компактную конструкцию при невысоких затратах, ранее недостижимых. Каждый из этих регуляторов включает передовой прямой трубчатый датчик в сочетании с элементами пропускания потока, изготовленными из алюминия и латуни для некорродирующих газов или нержавеющей стали 316 для коррозионных приложений. Регулировка нуля и пролета доступна снаружи преобразователей.
Принципы работы
Дозируемые газы делятся на два ламинарных потока, один из которых проходит через первичный расходный канал, а другой - через капиллярную трубку датчика. Оба канала предназначены для обеспечения ламинарных потоков, поэтому соотношение их расхода является постоянным.
Две прецизионные обмотки для измерения температуры на трубке датчика нагреваются, и при прохождении потока газ отводит тепло от верхней к нижней обмоткам. Полученная разница температур пропорциональна изменению сопротивления обмоток датчика.
Конструкция моста Уитстоун используется для контроля зависящего от температуры градиента сопротивления обмоток датчика, который линейно пропорционален мгновенной скорости потока.
Выходные сигналы от 0 до 5 В пост. тока и от 4 до 20 мА генерируются, указывая массовую молекулярную скорость потока дозируемого газа.
Комбинированный поток газа проходит через пропорциональный электромагнитный клапан с соответствующим образом выбранным отверстием. Контур управления в замкнутом контуре непрерывно контролирует массовый расход и поддерживает его на заданном уровне.
Скорость потока не зависит от колебаний температуры и давления в пределах заданных ограничений.
Общее описание
Компактные, автономные регуляторы массового расхода GFC предназначены для индикации и регулирования расхода газов. Надежная конструкция в сочетании с точностью определения класса КИП обеспечивают универсальные и экономичные средства регулирования расхода. Доступны модели из алюминия или нержавеющей стали с возможностью считывания показаний либо с инженерных блоков (стандартных), либо с дисплеев от 0 до 100%.
Встроенный электромагнитный клапан позволяет настроить расход на любой желаемый расход в пределах диапазона конкретной модели. Клапан обычно закрыт в качестве предохранительной функции для обеспечения перекрытия потока газа в случае отключения электропитания. Заданные значения регулируются локально или дистанционно.
ЖК-дисплей, встроенный в верхнюю часть датчика, наклонен более чем на 90 градусов для обеспечения оптимального комфорта считывания показаний. Он подключается к датчику с помощью стандартного модульного штекера и легко снимается для дистанционного считывания показаний. Датчики без ЖК-дисплея предлагаются для OEM-приложений.
Регуляторы массового расхода GFC выпускаются с диапазонами расхода от 10 ст.мл/мин. до 1000 литров/мин по N2. Газы подключаются с помощью компрессионных фитингов 1/4", 3/8" или опциональных 1/8" и 3/4" FNPT фитингов. Доступны опциональные фитинги. Эти контроллеры могут использоваться в качестве настольных блоков или монтироваться с помощью винтов в основании.
Порты питания преобразователей защищены предохранителями и защищены от неправильного соблюдения полярности при подключении.
Герметичность
1 x 10^-9 смл/сек по гелию изнутри наружу прибора.
|
|
